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在线语音研讨会——布鲁克三维光学显微镜在半导体与微机电系统表面测量中的应用
主讲人:黄鹤 博士
会议已经结束,请点播会议记录
时间:2015年12月18日 10:00-11:00
参会费: 免费
简介:
随着半导体三维封装技术的发展日新月异与微机电系统传感器广泛应用,对二者在制备过程中的工艺监控的要求也越来越严苛。布鲁克三维光学显微镜通过白光干涉原理,采用独特的双光源技术不仅可以对微米级别的器件结构测定其三维结构,更可以用于特征尺寸与高度方向的准确计量,实现对半导体制备工艺的精密监控,为工艺设备制程提供保障。
本讲座将通过一系列实测数据与应用来讨论布鲁克三维光学显微镜是如何为半导体封装与微机电系统制备提供有效监控的。
在线研讨会介绍
研讨会主题:布鲁克三维光学显微镜在半导体与微机电系统表面测量中的应用
举办时间:2015年12月18日 上午 10:00-11:00
举行公司:布鲁克(北京)科技有限公司
研讨会简介:
随着半导体三维封装技术的发展日新月异与微机电系统传感器广泛应用,对二者在制备过程中的工艺监控的要求也越来越严苛。布鲁克三维光学显微镜通过白光干涉原理,采用独特的双光源技术不仅可以对微米级别的器件结构测定其三维结构,更可以用于特征尺寸与高度方向的准确计量,实现对半导体制备工艺的精密监控,为工艺设备制程提供保障。
本讲座将通过一系列实测数据与应用来讨论布鲁克三维光学显微镜是如何为半导体封装与微机电系统制备提供有效监控的。
主讲人介绍
演讲专家:黄鹤 博士
专家职务:布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理
专家简介:他服务于工艺设备和测量仪器行业近15年,尤其在半导体、数据存储和一般性科学研究领域拥有丰富经验,是一名材料学博士。黄鹤博士先后在香港理工大学任助研,在应用材料公司任高级应用工程师,在维易科公司任应用科学家。
公司介绍
布鲁克(北京)科技有限公司是在纳斯达克上市的世界著名的高科技分析仪器跨国企业,以生产质谱仪、核磁共振谱仪、傅立叶红外/拉曼光谱仪、原子力显微镜、光学轮廓仪、摩擦磨损测试设备等高水平、高精度分析仪器享誉全球科技界。
参会有礼
在线提问互动听众有机会赢取OFweek提供的精美礼品,礼品多多,你不领,怪我咯?
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(奖品以实物为准,最终解释权归OFweek所有。)